1.真空度測量范圍： 9.999×10-1～1×10-5
2.離子電流測量范圍： 9.999×10-1～1×10-7
3.測量誤差： ＜10%
4.測量分辨率： 10-5pa
5.允許環(huán)境溫度： -20℃～50℃
6.空氣濕度： ≤80%RH
7.電源： AC，220V，50Hz±10%
8.外型尺寸： 420×290×210（mm）
9.高壓輸出： 脈沖30kV15kHz
⒑重量： 8kg
